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AZ1500系列i線光刻膠

簡要描述:AZ1500系列i線光刻膠高感光度標準G線正型光刻膠
為廣泛應用于半導體制造領域而優化的高感光度G線正型光刻膠
特征:
1) 高感光度,高產出率
2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進
3) 廣泛應用于*半導體行業

  • 產品型號:AZ1500(4.4cp)
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-08-04
  • 訪  問  量:609

詳細介紹

高感光度標準G線正型光刻膠

 AZ1500系列i線光刻膠

為廣泛應用于半導體制造領域而優化的高感光度G線正型光刻膠

特征:

 1) 高感光度,高產出率

 2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進

3) 廣泛應用于*半導體行業

 

AZ1500系列i線光刻膠參考工藝條件:

前烘 :100℃ 60 (DHP)

曝光 :G線步進式曝光機/接觸式曝光機

顯影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60 Puddle

清洗 :去離子水30

后烘 :120℃ 120 (DHP)

剝離 :AZ剝離液及/或氧等離子體灰化

 

產品型號:AZ1500

Viscosity:4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa

 

AZ1500系列i線光刻膠 旋涂曲線:

 

AZ1500系列i線光刻膠 圖案輪廓:


 

 

 


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